Ion Assist蒸着法の特徴

・従来のアルミ素材（$Al_2O_3$）はプラズマに晒されるとガス化して削れ、ゴミ（パーティクル）の原因になっていました。
・一方、イットリウム系（$Y_2O_3$、$YOF$など）はプラズマに触れても表面にとどまり蒸発しないため、非常に高い耐久性（耐プラズマ性）を持ちます。

歩留まり向上： ゴミの発生を防ぎ、半導体の製造不良を減らします。

装置稼働率の向上・コスト削減： 部品が長持ちするためメンテナンス頻度が減り、慣らし運転（エージング）時間も短縮できます。