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ブランド

brand

エージェントブランド

AGC
ASHERN雅森科技
KCMC
時田CVDシステム

AGC

IAD Method
Joint development partner for Plasma-resistant materials for semiconductors

ASHERN

IAD Method
ASHERNテクノロジーは、顧客ニーズへの対応、従業員の福利厚生の創出、株主利益の追求という3つの側面に重点を置くことで、プラズマ発電、電子ビーム/イオンビーム、誘導加熱の分野における業界リーダーとなることを目指しています。
半導体業界で20年以上の経験を持つASEHRNテクノロジーは、プラズマ発生器の修理サービスを専門としています。半導体、パネル、LED、太陽光発電業界向けのプラズマ電源のエッチングおよびコーティングを手掛け、年間1,000以上の修理実績を誇ります。顧客には、国内外の大手半導体メーカー、システムインテグレーター、著名な国際機器サプライヤーなどが名を連ねています。
ASEHRNテクノロジーは、直流および高周波プラズマ電源、整合回路、高周波増幅器、高周波誘導加熱電源、電子ビーム/イオンビーム蒸着装置、真空および大気圧プラズマシステムの研究開発、販売、修理、および応用サービスに特化しています。同社の技術パートナーには、ヨーロッパ、アメリカ、日本、韓国の関連機器メーカーが含まれます。

KCMC(Korea Coating Materials & Conponents CO.,Ltd.)

韓国でスパッタリング・蒸着など部品の製作・販売を行っている会社
2010年設立、2021年からオリジナル製品の製作・販売を行なっている

取扱製品

  • ロータリーカソード
  • プレーナーカソード
  • マグネットバー
  • リニアタイプイオンソース

ロータリーカソードの特徴

ターゲット使用効率が非常に良い(約80%)
良質な薄膜の形成

Drop-in Type

KD3 swivel
KD3 swivel
KD3
KD3
真空のチャンバー内にエンドブロックが入る形状です。 バッキングチューブの長さは、要望に応じてカスタム可能です(最大4mまで)。

特徴

コンパクトなエンドブロック
他社のものと比較して、20%程度コンパクトなエンドブロックです。
Swivel Type
ターゲットと内部のマグネットバーが回転します。
カスタマイズ可能
バッキングチューブの長さは、要望に応じてカスタマイズ可能です。
KD3 Dual LID
KD3 Dual LID

Side Mount Type

エンドブロック
エンドブロック
全体
全体
真空のチャンバーの外にエンドブロックを設置する形状です。 バッキングチューブの長さは、要望に応じてカスタム可能です(最大4mまで)。

特徴

wivel Type
ターゲットと内部のマグネットバーが回転します。
カスタマイズ可能
バッキングチューブの長さは、要望に応じてカスタマイズ可能です。
導入事例
導入事例
チャンバー内
チャンバー内

ロータリーカソードの詳細情報

モデル
詳細
長さ
(パッキングチューブのサイズ)
電源
回転モード
(マグネット回転)
電源の形式
その他
ロータリーカソード
KD 2,3,4,5
ドロップインタイプ
KD2:1.5m
KD3:2.5m
KD4:3m
KD5:4m
KD2:1500V,100A
KD3:1500V,200A
KD4:1500V,250A
KD5:1500V,400A
OK
DC(-V)
Pulsed DC
バイポーラDC
HIPIM S
LID
ロータリーカソード
KM 3,4,5
サイドマウントタイプ
KM3:2.5m
KM4:3m
KM5:4m
KM3:1500V,200A
KM4:1500V,250A
KM5:1500V,400A
OK
DC(-V)
Pulsed DC
バイポーラDC
HIPIM S
LID

マグネットバー

本資料で紹介したロータリーカソードは、マグネットバーを併用することでさらなる膜質の向上を狙うことができます。
マグネットバーは、大きく分けて2種類で、MGM type と HGM type があります。
詳細については、お問い合わせください。