Ion Assist蒸着膜について
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従来の成膜方法との比較
従来の成膜方法との比較
原料粉が細かければ膜も緻密になる→分子状成膜：最も緻密 原料粉が細かければ膜も緻密になる→分子状成膜：最も緻密
原料粉が細かければ膜も緻密になる→分子状成膜：最も緻密
安定相は4相：F量と膜硬度は反比例
安定相は4相：F量と膜硬度は反比例
流量比で制御可能
流量比で制御可能
複雑な構造：硬度が2000MPa以上 複雑な構造：硬度が2000MPa以上
複雑な構造：硬度が2000MPa以上 複雑な構造：硬度が2000MPa以上
F Plasma耐食性が大幅に向上 F Plasma耐食性が大幅に向上
F Plasma耐食性が大幅に向上 F Plasma耐食性が大幅に向上
超緻密膜、かつ（111）最稠密面に優先配向する為フッ素プラズマに対して大きな耐食性を示す
従来の成膜方法との比較
従来の成膜方法との比較
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Oxide
|
ΔG０ｆ
|
Floride
|
ΔG０ｆ
|
沸点
|
|
kJ/mol
|
kJ/mol
|
℃
|
||
|
SiO2
|
-857
|
|||
|
TiO2
|
-890
|
|||
|
Fe3O4
|
-1015
|
FeF2
|
-1162
|
＜1000
|
|
Cr2O3
|
-1058
|
CrF2
|
-732
|
1300
|
|
MgO
|
-1170
|
MgF2
|
-1070
|
2260
|
|
Al2O3
|
-1582
|
AlF3
|
-1425
|
1260
|
|
La2O3
|
-1706
|
|||
|
Y2O3
|
-1727
|
YF3
|
-1645
|
2200
|
|
Ta2O5
|
-1911
|
TaF5
|
融点97℃
|
|
|
Ti2O5
|
-2318
|
TiF4
|
融点377℃
|
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