Ion Assist蒸着法とは

つばさ真空理研株式会社は、特殊なIon Assist蒸着技術によって気孔のない、非常に緻密な酸化イットリウム（ Y₂O₃ ）膜を形成することを特徴としています。耐食性保護膜によってパーティクルを低減させ、生産性の向上、製品の信頼性向上につなげていきます。次世代技術として酸フッ化イットリウム（YOF）やYAG（Al₃Y₅O₁₂）にも取り組んで開発していきます。
　従来の溶射による成膜では粉体をプラズマで半溶融状態にして照射させる成膜法なので緻密な膜ができない問題点があります。Ion Assist蒸着は原子状態で成膜し、酸素イオン照射で膜を緻密化させますので原子レベルで緻密な膜ができます。