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Tsubasa Science
オリジナル表面処理コーティングで
半導体のライフタイムをより長く
「膜を作る会社」から、
半導体装置の性能を支える技術パートナーへ。
半導体のライフタイムをより長く
「膜を作る会社」から、
半導体装置の性能を支える技術パートナーへ。
Technology
技術紹介
IAD方式は緻密な薄膜～厚膜まで成膜可能なため、
多角的な応用が期待当社の独自技術であるIon Assist蒸着法（IAD）は原料を電子ビームで加熱溶融して真空中で蒸着させます。同時に酸素イオンを基盤に照射（1kV）して緻密な成膜を形成させます。原子レベルで成膜するので緻密で硬い膜ができ、クリーンな環境で成膜できます。形成された膜は研磨不要です。
多角的な応用が期待当社の独自技術であるIon Assist蒸着法（IAD）は原料を電子ビームで加熱溶融して真空中で蒸着させます。同時に酸素イオンを基盤に照射（1kV）して緻密な成膜を形成させます。原子レベルで成膜するので緻密で硬い膜ができ、クリーンな環境で成膜できます。形成された膜は研磨不要です。
インスタグラム
2026.11.12
新しい技術はどんどん習得しましょう。
コワースと読みます。
2026.11.12
私の調査でわかってきたLAM装置採用の真実。
2026.11.10
今日はこちらのビルに入っている会社さんと営業ミーティングです。早く着いたのでコーヒーブレイク
2026.11.08
愛犬のコーギーの週末は長めの散歩をしてます。この時間が大切で翌週の仕事にも活かせます。ON/OFFはちゃんと出来るのがいいビジネスマンだと自負しております。
2026.11.06
今週も皆さま、お疲れ様でした。
2026.11.06
昨日は京葉エリアにある半導体関連のメーカーさんに営業に行きました。風が強いです。今年は台風いつまで来るのでしょうか？異常気象ですね。
2026.10.24
台風の影響は少なくなってます。帰れそうです。5泊6日実りの多い出張になりました。
2026.10.23
日帰りで台南出張行ってきます。
2026.10.22
今日は日帰りで台南に行ってきます。
2026.10.20
今夜は台湾の生ビール18天を戴きます。お疲れ様でございます。
半導体製造装置の部材では、耐プラズマ性や膜の均一性が、交換頻度や安定稼働に関わります。Y2O3膜を検討する際は、材料名だけでなく、使用環境、基材との密着性、膜厚、表面状態まで確認することが大切です。PVD方式では成膜条件を調整できるため、部品形状や用途に応じた膜設計が検討できます。立方晶の状態やYOF膜との違いも、求める耐食性や消耗特性を踏まえて比較すると、選定の判断材料になります。つばさ真空理研株式会社へ相談する際は、対象部品や装置条件、交換履歴を整理しておくと、課題を共有しやすくなります。RF電源やRFマッチングボックスの不具合も記録し、膜以外の要因も確認しましょう。
2026年 11月 14日更新