Tsubasa Science
オリジナル表面処理コーティングで
半導体のライフタイムをより長く
半導体のライフタイムをより長く
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つばさ真空理研株式会社は、半導体製造において革新的な技術を提供しています。特にY2O3膜のPVD方式コーティング技術は、耐プラズマコーティング性や高硬度に優れ、製品の長寿命化に貢献しています。この革新的な技術を活用することで、製品のRepiar(リーピア)やCIP(シーアイピー)の効率を向上させることが可能です。皆様の製造プロセスをサポートし、品質向上にお役立ちします。
2026年 10月 9日更新