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Tsubasa Science
オリジナル表面処理コーティングで
半導体のライフタイムをより長く
「膜を作る会社」から、
半導体装置の性能を支える技術パートナーへ。
半導体のライフタイムをより長く
「膜を作る会社」から、
半導体装置の性能を支える技術パートナーへ。
Technology
技術紹介
IAD方式は緻密な薄膜～厚膜まで成膜可能なため、
多角的な応用が期待当社の独自技術であるIon Assist蒸着法（IAD）は原料を電子ビームで加熱溶融して真空中で蒸着させます。同時に酸素イオンを基盤に照射（1kV）して緻密な成膜を形成させます。原子レベルで成膜するので緻密で硬い膜ができ、クリーンな環境で成膜できます。形成された膜は研磨不要です。
多角的な応用が期待当社の独自技術であるIon Assist蒸着法（IAD）は原料を電子ビームで加熱溶融して真空中で蒸着させます。同時に酸素イオンを基盤に照射（1kV）して緻密な成膜を形成させます。原子レベルで成膜するので緻密で硬い膜ができ、クリーンな環境で成膜できます。形成された膜は研磨不要です。
インスタグラム
2026.11.12
新しい技術はどんどん習得しましょう。
コワースと読みます。
2026.11.12
私の調査でわかってきたLAM装置採用の真実。
2026.11.10
今日はこちらのビルに入っている会社さんと営業ミーティングです。早く着いたのでコーヒーブレイク
2026.11.08
愛犬のコーギーの週末は長めの散歩をしてます。この時間が大切で翌週の仕事にも活かせます。ON/OFFはちゃんと出来るのがいいビジネスマンだと自負しております。
2026.11.06
今週も皆さま、お疲れ様でした。
2026.11.06
昨日は京葉エリアにある半導体関連のメーカーさんに営業に行きました。風が強いです。今年は台風いつまで来るのでしょうか？異常気象ですね。
2026.10.24
台風の影響は少なくなってます。帰れそうです。5泊6日実りの多い出張になりました。
2026.10.23
日帰りで台南出張行ってきます。
2026.10.22
今日は日帰りで台南に行ってきます。
2026.10.20
今夜は台湾の生ビール18天を戴きます。お疲れ様でございます。
半導体製造装置の部品では、プラズマや薬品への耐性が安定稼働を左右します。Y2O3膜は耐食性や高硬度が求められる表面処理の選択肢ですが、膜の厚さだけでなく、密着性や使用環境との相性も確認が必要です。つばさ真空理研株式会社に相談する際は、部品の材質、損傷の状態、運転条件を整理すると、修理や改善の方向性を検討しやすくなります。PVD方式による成膜を検討する場合は、CVD方式やAl2O3膜との違いも比較し、必要な特性やコスト、納期を照らし合わせましょう。処理方法を選ぶ前に、現場で起きている摩耗や腐食の原因を把握することが、部品寿命の見直しにつながります。
2026年 11月 13日更新