Tsubasa Science
オリジナル表面処理コーティングで
半導体のライフタイムをより長く
半導体のライフタイムをより長く
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つばさ真空理研株式会社では、半導体製造における革新的な技術として、Y2O3膜のPVD方式が注目されています。この技術は、Al2O3膜よりも剥がれにくく、イオンアシストによる立方晶の形成が特長です。中古機販売やCIPといったサービスも充実しており、半導体産業におけるさまざまなニーズにお応えしています。つばさ真空理研株式会社は、常に革新的な技術と高品質な製品を提供することをお約束します。
2026年 10月 8日更新