Tsubasa Science
オリジナル表面処理コーティングで
半導体のライフタイムをより長く
半導体のライフタイムをより長く
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当社は、半導体製造における革新的な技術として、Y2O3膜のPVD方式を採用しております。この高性能な膜は、Al2O3膜と比較して耐プラズマコーティング性に優れ、立方晶の安定性も高く評価されています。つばさ真空理研株式会社は、RF電源やRFマッチングボックスをはじめとする機器の修理にも精通しており、お客様のニーズに応えるべく努めております。
2026年 10月 6日更新