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Tsubasa Science
オリジナル表面処理コーティングで
半導体のライフタイムをより長く
「膜を作る会社」から、
半導体装置の性能を支える技術パートナーへ。
半導体のライフタイムをより長く
「膜を作る会社」から、
半導体装置の性能を支える技術パートナーへ。
Technology
技術紹介
IAD方式は緻密な薄膜～厚膜まで成膜可能なため、
多角的な応用が期待当社の独自技術であるIon Assist蒸着法（IAD）は原料を電子ビームで加熱溶融して真空中で蒸着させます。同時に酸素イオンを基盤に照射（1kV）して緻密な成膜を形成させます。原子レベルで成膜するので緻密で硬い膜ができ、クリーンな環境で成膜できます。形成された膜は研磨不要です。
多角的な応用が期待当社の独自技術であるIon Assist蒸着法（IAD）は原料を電子ビームで加熱溶融して真空中で蒸着させます。同時に酸素イオンを基盤に照射（1kV）して緻密な成膜を形成させます。原子レベルで成膜するので緻密で硬い膜ができ、クリーンな環境で成膜できます。形成された膜は研磨不要です。
インスタグラム
2026.11.12
新しい技術はどんどん習得しましょう。
コワースと読みます。
2026.11.12
私の調査でわかってきたLAM装置採用の真実。
2026.11.10
今日はこちらのビルに入っている会社さんと営業ミーティングです。早く着いたのでコーヒーブレイク
2026.11.08
愛犬のコーギーの週末は長めの散歩をしてます。この時間が大切で翌週の仕事にも活かせます。ON/OFFはちゃんと出来るのがいいビジネスマンだと自負しております。
2026.11.06
今週も皆さま、お疲れ様でした。
2026.11.06
昨日は京葉エリアにある半導体関連のメーカーさんに営業に行きました。風が強いです。今年は台風いつまで来るのでしょうか？異常気象ですね。
2026.10.24
台風の影響は少なくなってます。帰れそうです。5泊6日実りの多い出張になりました。
2026.10.23
日帰りで台南出張行ってきます。
2026.10.22
今日は日帰りで台南に行ってきます。
2026.10.20
今夜は台湾の生ビール18天を戴きます。お疲れ様でございます。
半導体製造装置の部品は、プラズマへの曝露によって表面が劣化し、粒子の発生や部品交換につながることがあります。耐プラズマコーティングの一つであるY2O3膜は、使用環境に応じた膜質や密着性の検討が重要です。つばさ真空理研株式会社では、PVD方式やイオンアシストを用いた成膜、部品の修理（Repiar）について相談できます。コーティングの剥がれにくさは、基材の状態や前処理、成膜条件によって変わります。再コーティングを検討する際は、部品の使用条件や損傷状況を伝え、補修の可否や工程を確認すると、交換との比較もしやすくなります。
2026年 11月 12日更新